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鄭科探小型濺射儀KT-1650PVD如何安裝

更新時(shí)間:2023-03-16點(diǎn)擊次數(shù):1428

KT-1650PVD小型濺射儀使用指南

1、 所需配套設(shè)備:小型濺射儀,水冷機(jī),真空泵,高純氬氣

2、 配套設(shè)備安裝準(zhǔn)備工作

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水冷機(jī): (此設(shè)備為選配配件)本公司配備水冷機(jī)型號 JZ-3000.進(jìn)出水口接 口為 6mm 快插接頭,配套 6 米透明 PU 管,外徑 6mm 內(nèi)徑 4mm 加水 6 升。建 議加入純水、去離子水,如沒有條件加入自來水也可。

若自行準(zhǔn)備水冷機(jī),請匹配合適接頭

安裝方法:將設(shè)備背面進(jìn)出水口連接設(shè)備背面進(jìn)水口,公司標(biāo)配 6m 透明 PU 管, 可根據(jù)現(xiàn)場實(shí)際情況進(jìn)行裁剪。(設(shè)備背面接口無進(jìn)出水口之分,可任意接)

真空泵:(此設(shè)備為選配配件)本公司所配備的是 8m3/h(2.2L/s),KF25 標(biāo)準(zhǔn)接口,及 1200mm 長波紋管。

若自行配備真空泵,請匹配合適大小接頭及波紋管

安裝步驟

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把加油口打開,并將隨貨的一壺油全部倒入加油口(油量會(huì)超過最高刻度,屬正 ?,F(xiàn)象),將出氣口打開,可根據(jù)現(xiàn)場實(shí)際情況自行安裝油霧過濾器或者出氣管道排到室外 或者通風(fēng)櫥。注:出氣口需保持暢通狀態(tài),不可堵塞 進(jìn)氣口連接波紋管,與濺射儀左側(cè)真空擋板閥連接。

高純氬氣:小型濺射儀工作中需要用到高純氬氣,所以需要自行準(zhǔn)備高純 氬氣。本公司配備的管道為外徑 6mm 內(nèi)徑 4mm 聚四氟管道,請匹配合適的減 壓閥及進(jìn)氣接頭。設(shè)備進(jìn)氣壓力為不大于 0.1MPa。

設(shè)備安裝及準(zhǔn)備工作

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將白色聚四氟管道如上圖安裝至設(shè)備背面進(jìn)氣口,并用扳手鎖緊

配件安裝

靶材:直徑 2 英寸,厚度 0.3mm-3mm

靶材的安裝

先分別取下屏蔽罩、靶材壓環(huán)、靶材,將需要的靶材和靶材壓環(huán)緊緊貼住, 用 3 顆螺絲錯(cuò)開鎖緊壓環(huán),擰上屏蔽罩。屏蔽罩距離靶材壓環(huán)距離 3mm 左右,

不可將屏蔽罩與靶材壓環(huán)接觸,以免造成設(shè)備短路

安裝基底

分別取下玻璃罩和樣品臺(tái),將襯底固定到樣品臺(tái)上,固定好的樣品水平放置在基底座上面,并且三個(gè)齒輪要相互咬合,最后放好玻璃罩,蓋好上蓋。

使用前檢查

1、檢查水箱里面是否有水打開冷水機(jī)電源,檢查水冷接口是否連接好,觀察有沒有漏水的現(xiàn)象 (正常情況不漏水一個(gè)月檢查一次)

2、真空泵的油箱值是否在 min 和 max 之間(油有沒有發(fā)黃,發(fā)黃說明油有雜質(zhì)需要?jiǎng)倱Q),

3、氬氣壓力值是否在 0.1MPa 以下,

4、打開濺射儀電源,點(diǎn)擊擋板打開按鍵,觀察腔體內(nèi)樣品臺(tái)是否旋轉(zhuǎn)順暢,如有卡頓及時(shí)按下?lián)醢鍙?fù)位按鍵。

    濺射流程: 濺射操作前一定要打開水冷

順時(shí)針關(guān)閉氣體調(diào)節(jié)閥和放氣閥,旋轉(zhuǎn)真空泵手柄至最大值,打開真空泵開關(guān),視線關(guān)注觸摸屏上的真空度是否有變化,如果無變化,將手往下壓住腔體密 封上蓋(不要用力過大),再查看真空度直到下降至 2Pa 以下,旋鈕氣體調(diào)節(jié)閥 到穩(wěn)定到 4Pa 左右,并保持 5 分鐘使腔體內(nèi)部充滿氬氣,開始濺射。

    手動(dòng)模式:設(shè)置樣品臺(tái)轉(zhuǎn)速在 0-8r/min,若不需要旋轉(zhuǎn)可設(shè)置為 0,點(diǎn)擊擋板復(fù)位按鈕,使擋板遮擋基底。設(shè)置濺射電流,時(shí)間需要自己計(jì)時(shí),濺射完成后,點(diǎn)擊停止運(yùn)行,并點(diǎn)擊擋板停止旋轉(zhuǎn)(此時(shí)不需要擋板復(fù)位)。如果想自己探索

濺射速率,及時(shí)記下濺射電流、電壓、功率和時(shí)間。

    自動(dòng)模式:預(yù)濺射 1:清除靶材上的雜質(zhì)。預(yù)濺射 2:升溫,穩(wěn)定電流 設(shè)置預(yù)濺射時(shí)間和電流(T1 和 T2),然后設(shè)置沉積的時(shí)間和電流(T3)

濺射電流根據(jù)靶材不同設(shè)置電流不同,觀察濺射電壓和濺射功率的值,濺射 電壓通常在 315V 以上,最好濺射效果在 330V-340V 范圍內(nèi)。(若電壓上不去,

可將靶材拆下,用細(xì)砂紙打磨靶材背面和濺射靶材座,使他們良好接觸(時(shí)間長

會(huì)氧化))

界面操作完成后,先關(guān)閉氣體調(diào)節(jié)閥和真空泵手柄,再逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)放氣閥,平衡內(nèi)外氣壓,打開玻璃罩上蓋,取出樣品臺(tái),拿下樣品。關(guān)閉水源、真空泵、濺射儀,最后關(guān)閉電源總開關(guān)。




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