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當(dāng)前位置:首頁(yè)技術(shù)文章小型金屬濺射鍍膜機(jī)優(yōu)點(diǎn)

小型金屬濺射鍍膜機(jī)優(yōu)點(diǎn)

更新時(shí)間:2023-08-16點(diǎn)擊次數(shù):1455

                                                     鄭科探小型濺射儀功能優(yōu)勢(shì)




1、樣品臺(tái)旋轉(zhuǎn),多樣品同時(shí)鍍膜時(shí),鍍膜厚度比較均勻。


2、預(yù)濺射擋板功能,剛開始鍍膜的時(shí)候腔室里會(huì)有些雜質(zhì),擋板可以保護(hù)樣品,提高薄膜質(zhì)量


3、帶有水冷系統(tǒng),可以長(zhǎng)時(shí)間濺射鍍膜,厚度可達(dá)1微米以上。


4、直流磁控濺射,提高附著力,濺射速率快,比離子濺射快上一個(gè)量級(jí)。針對(duì)某些金屬最快能達(dá)到1-2納米每秒,


5、不但可以電鏡制樣,還可以制作金屬電極。


6、可擴(kuò)展膜厚監(jiān)測(cè),監(jiān)測(cè)薄膜厚度。


濺射儀使用需注


1 靶材需要良好的導(dǎo)電性, 如果具備這個(gè)條件  可以鍍    


2 遇到容易氧化的金屬 需要配備分子泵把本底真空抽到1E-3Pa 放氬氣維持真空到1Pa左右鍍膜的金屬接近本色


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