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150分子泵套裝機(jī)組，前級(jí)采用雙極四旋片真空泵，2.2L/S。分子泵采用150分子泵，空載極限壓強(qiáng)為1X10-4Pa

氣體配比器質(zhì)量流量計(jì)，采用觸摸屏控制，五段時(shí)間調(diào)節(jié)不同流量，使配氣更及時(shí)，更簡(jiǎn)單，

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小型高溫蒸鍍儀，鎢舟加熱，或者坩堝加熱，溫度可達(dá)1800度，帶樣品臺(tái)旋轉(zhuǎn)功能，使鍍膜更加均勻

大功率桌面濺射儀，采用小電流高電壓，最大功率1000w，配有水冷機(jī)接口，可長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行

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*等離子清洗機(jī)，150W射頻電源，整機(jī)工作電流不大于3.5A，清洗頻率13.56MHz