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小型氣敏探針臺KT-Z4019MRL4T，4探針手動調(diào)節(jié)，純銀加熱臺，-196℃至350℃（溫控精確±0.5）

360°等離子清洗機KT-G1DQX，采用石英玻璃管，法蘭密封，360°旋轉(zhuǎn)*清洗。

等離子清洗機鄭州科 探KT-S2DQX，采用觸摸屏控制，質(zhì)量流量計檢測精度±1.5%,真空壓力檢測精確到1Pa。

桌面式磁控濺射儀KT-Z1650PVD，外形小巧方便移動，觸摸屏控制工藝記憶儲存，自動電動擋板閥保護樣品，石英腔室更加潔凈方便清潔。

真空小型蒸鍍儀KT-Z1650CVD，7寸觸摸屏控制，工藝記憶儲存方便下次使用，樣品臺旋轉(zhuǎn)0-8轉(zhuǎn)/分，自動電動擋板保護樣品，石英腔室潔凈好清洗。

質(zhì)量流量計外置式氣體配比器KT-C4ZS，采用質(zhì)量流量計，316金屬管道，觸摸屏控制，5段可編程序（時間-流量隨意設置定值）

外置質(zhì)量流量計氣體配比器KT-C4ZS，配置7寸觸摸屏智能控制，5段可編程序（時間-流量隨意設置定值），數(shù)據(jù)儲存方便收集相同氣體，管道采用316拋光管制作耐腐蝕性強。

微型高低溫探針臺KT-Z4019MRL4T結(jié)構緊湊，適用于各種變溫測試。-196℃~400℃（配液氮致冷模塊）氣密腔室設計，可通保護氣氛

真空探針臺KT-Z160TZ，高溫真空腔探針系統(tǒng)主要用于為被測芯片提供一個低溫或者高溫的變溫測量環(huán)境，以便測量分析溫度變化時芯片性能參數(shù)的變化。腔體內(nèi)被測芯片在真空環(huán)境中有效避免易受氧化半導體器件接觸...

高溫真空探針臺KT-Z1604TZ，可單選高溫或低溫等相應組件，溫度可達到400℃。以便測量分析溫度變化時芯片性能參數(shù)的變化。腔體內(nèi)被測芯片在真空環(huán)境中有效避免易受氧化半導體器件接觸空氣所帶來的測試結(jié)...